肇庆市宏华电子科技有限公司
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产品详情
WG-1261全自动减薄机
WG-1261全自动减薄机的图片
参考报价:
面议
品牌:
宏华电子
关注度:
1259
样本:
暂无
型号:
WG-1261全自动减薄机
产地:
广东
信息完整度:
典型用户:
暂无
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名 称:肇庆市宏华电子科技有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

技术特点:

 ●磨轮直径 Φ300mm,**减薄速率 0.9μm/s, 单片磨削时间< 5 分钟。选择高功率高扭矩主轴,可实现高效率、高精度、无损伤镜面加工;
 ●双主轴三工位全自动减薄机,配有在线测量仪单元(测量范围 0-1800μm),精确控制减薄厚度;具备 SECS/GEM 联网功能。配置 SMIF(选配),保持高清洁度的同时稳定减薄。

 

性能指标:

WG-1250自动减薄机
磨削方式通过旋转晶圆,实现纵向切入式磨削
结构方式1根主轴, 3个承片台,1回转工作台
磨削尺寸
mmMax.Ø200(Φ6″-Φ8″)
磨轮直径
mmΦ300
主轴主轴数量-2
主轴功率KW7.5
主轴转速rpm1000-4000
Z轴行程mm120

Z轴分辨率µm0.1
承片台装片方式-真空吸附
承片台类型-多孔陶瓷式(6/8寸兼容)
转速rpm0-300
承片台数量3
承片台清洗方式-油石手动清洗
减薄精度片内厚度偏差µm≤2
片间厚度偏差µm≤±2
表面粗糙度斤nm≤3(#30000 wheel,SiC)
设备外形尺寸WxD×Hmm1445×3330×1895
设备重量kg4700

 


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